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一种用于PAD芯片加工的刻蚀机

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202120391918.9
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2021-02-22
  • 申请人:
    深圳市同和光电科技有限公司
著录项信息
专利名称一种用于PAD芯片加工的刻蚀机
申请号CN202120391918.9申请日期2021-02-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人深圳市同和光电科技有限公司申请人地址
广东省深圳市宝安区新安街道28区宝安新一代信息技术产业园C座三楼315号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人深圳市同和光电科技有限公司当前权利人深圳市同和光电科技有限公司
发明人危功辉
代理机构深圳市汇信知识产权代理有限公司代理人赵英杰
摘要
本实用新型公开了一种用于PAD芯片加工的刻蚀机,其技术方案是:包括壳体和机体,所述壳体内部固定设有降颤机构,所述降颤机构包括压板,所述压板顶部固定设有电动推杆,所述机体外侧固定套设有小框体,所述小框体底部设有多个套筒,多个所述套筒内部均活动设有第一杆体,所述第一杆体外侧套设有弹簧,本实用新型的有益效果是:通过电动推杆通过压板带动机体下降,机体对工件进行加工,期间机体向下的力传递给套筒,套筒在弹簧的挤压下沿着第一杆体向下运动,与此同时,弹簧的弹力通过套筒和小框体反作用于机体,然后再配合压板对机体向下的压力,减颤效果好,机体的加工作业更加平稳,提高了工件成型效果。

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