一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201010242492.7
IPC分类号：G02B7/00;G02B7/02;G02B7/182
申请日期：
2010-08-02
申请人：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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著录项信息

专利名称	一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置
申请号	CN201010242492.7	申请日期	2010-08-02
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2010-12-01	公开/公告号	CN101900862A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B7/00 光学元件的安装、调整装置或不漏光连接	IPC分类号	G;0;2;B;7;/;0;0;;;G;0;2;B;7;/;0;2;;;G;0;2;B;7;/;1;8;2查看分类表>
申请人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	申请人地址	吉林省长春市东南湖大路3888号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	当前权利人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
发明人	赵磊;巩岩;倪明阳;张巍;王学亮;袁文全
代理机构	长春菁华专利商标代理事务所	代理人	陶尊新

摘要

一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置，涉及深紫外投影光刻物镜系统中的光学元件的微动调整，它解决了现有光学元件轴向微动调整装置存在的系统刚性差、固有频率低、加工制造困难的问题；包括镜筒单元组件、镜框组件、光学元件、三组压电控制驱动单元、三组换向缩放单元、三组导向环和导向滑块，所述镜筒单元组件内设置镜框组件，镜框组件内设置光学元件；镜框单元组件的的内环面和外环面设置三个内凹槽和三个外凹槽；每个外凹槽内安装压电控制驱动单元，导向环固定在镜筒单元组件的内环面上；镜框组件内外圆柱面上均匀设置三个内凸台和三个外凸台；导向滑块固定在镜框组件外圆柱面的三个外凸台上；本发明应用于深紫外投影光刻物镜系统中。

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