卡盘温度控制方法、卡盘温度控制系统及半导体设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201910814068.6
IPC分类号：G05D23/30
申请日期：
2019-08-30
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	卡盘温度控制方法、卡盘温度控制系统及半导体设备
申请号	CN201910814068.6	申请日期	2019-08-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-11-26	公开/公告号	CN110502049A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05D23/30 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05D 非电变量的控制或调节系统（金属的连续铸造入B22D 11/16；阀门本身入F16K；非电变量的检测见G01各有关小类；电或磁变量的调节入G05F） G05D23/00 温度的控制（电热器械的自动开关装置入H05B 1/02） G05D23/19 以使用电装置为特征的 G05D23/30 具有影响传感元件的辅助加热装置的自动控制器，例如，预测温度变化的（一般的和不限于控制温度的自动控制器入G05B）	IPC分类号	G;0;5;D;2;3;/;3;0查看分类表>
申请人	北京北方华创微电子装备有限公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	韩笑娜;陈庆;杨雄
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	彭瑞欣;张天舒

摘要

本发明提供一种卡盘温度控制方法、卡盘温度控制系统及半导体设备，该方法包括：获取当前微波源的输出功率值；根据预设的温控关系表，基于所述输出功率值，调节输出至卡盘加热装置的加热功率控制值和输出至卡盘冷却装置的冷却介质流量控制值，以将卡盘的温度维持在目标温度值；其中，所述温控关系表中包括所述微波源的输出功率值与加热功率控制值、冷却介质流量控制值的对应关系。通过本发明，提高了卡盘温度的稳定性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供