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一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821040152.4
  • IPC分类号:H01L33/42
  • 申请日期:
    2018-06-29
  • 申请人:
    华南理工大学
著录项信息
专利名称一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜
申请号CN201821040152.4申请日期2018-06-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L33/42IPC分类号H;0;1;L;3;3;/;4;2查看分类表>
申请人华南理工大学申请人地址
广东省广州市天河区五山路381号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人华南理工大学当前权利人华南理工大学
发明人王洪;胡晓龙;文茹莲
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司代理人何淑珍;江裕强
摘要
本实用新型公开了一种新型金属掺杂ITO透明导电薄膜。新型金属掺杂ITO透明导电薄膜包括新型金属掺杂ITO薄膜和基底材料,所述新型金属掺杂ITO薄膜与基底材料接触,所述新型金属掺杂ITO薄膜包括掺杂金属薄膜和ITO薄膜,所述掺杂金属薄膜和ITO薄膜通过退火处理键合在一起。本实用新型的透明导电薄膜是通过先生长一层ITO薄膜后生长掺杂金属薄膜,再一起通过高温退火后而形成,得到的透明导电薄膜在ITO透明导电薄膜基础上,具有更大的薄膜光学透过率和更低的薄膜方块电阻;本实用新型在原有设备上不需要引入新的设备,结构简单,因此不会增大工艺难度,同时有利于提高薄膜光电性能。

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