一种微型空间氢探测微传感器及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201810730089.5
IPC分类号：G01N27/12;G01K7/18
申请日期：
2018-07-05
申请人：
兰州空间技术物理研究所

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著录项信息

专利名称	一种微型空间氢探测微传感器及其制备方法
申请号	CN201810730089.5	申请日期	2018-07-05
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-01-15	公开/公告号	CN109211984A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/04 通过测试电阻 G01N27/12 与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;1;2;;;G;0;1;K;7;/;1;8查看分类表>
申请人	兰州空间技术物理研究所	申请人地址	甘肃省兰州市城关区渭源路97号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	兰州空间技术物理研究所	当前权利人	兰州空间技术物理研究所
发明人	张剑锋;黄一凡;蒋洪川;杨生胜;薛玉雄;郭睿;郭兴;苗育军;张晨光;乔佳;王光毅;庄建宏
代理机构	北京理工大学专利中心	代理人	李微微;仇蕾安

摘要

本发明公开了一种微型空间氢探测微传感器，采用钯镍合金体系作为氢敏感材料，制备钯镍合金电阻氢气敏感器，加工技术简单并易于集成，并有效解决了纯钯作为氢敏感材料的过吸附，拖尾现象和敏感薄膜脱落等缺点；本发明钯镍氢敏感材料设计为图形化的折线形丝状薄膜结构，相对于纯钯材料，钯镍氢敏感薄膜内部可以产生更多的敏感位点以及在微结构中产生空腔及凹陷等，在一定程度上增大了钯镍氢敏感薄膜的比表面积，可以获得更高的信号强度，这是同等条件下其它氢传感器所不能比拟的；该传感器属于空间氢原子原位微型探测器重要组成部分，能够搭载在微纳卫星平台上，探测出极低浓度的氢原子浓度，并且功耗低、体积小、重量轻。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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