静电电容式应变传感器及其使用方法

发明专利无效专利

申请号：
CN00801886.3
IPC分类号：--
申请日期：
2000-07-07
申请人：
株式会社东金

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法律信息

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著录项信息

专利名称	静电电容式应变传感器及其使用方法
申请号	CN00801886.3	申请日期	2000-07-07
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2001-11-07	公开/公告号	CN1321243
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社东金	申请人地址	日本宫城县仙台市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	NEC东金株式会社	当前权利人	NEC东金株式会社
发明人	上野亨;森和也;吉田哲男
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	杨凯;叶恺东

摘要

一种静电电容式应变传感器，包括基板(119)和在基板上形成的两个交叉指型—对电极式电容器(209，209A)。该基板在具有平面(或曲面)的弹性体表面上，形成厚度大致一致、介电常数随变形变化的材料的电介质层膜(129)。该电容器由基板表面上的成对电极的交叉指型形成，该成对电极由多个线状导电体做成平行的线状电极形成。在该传感器中，在基板上形成一个电容器作为基准电容，将其用于另一个电容器的温度校正。为检测另一方向的变形，交叉指型中的指的方向大致互相垂直，或使线状电极相对平板中心呈同心圆形状。通过将电容器作为振荡电路的元件装入，可将变形值转换为电容和频率的变化，由于频率可精细抽出，故可容易地检测变形的细微变化。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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