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一种基于金属探针的太赫兹超分辨成像装置及成像方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810520030.3
  • IPC分类号:G01N21/3586
  • 申请日期:
    2018-05-28
  • 申请人:
    南开大学
著录项信息
专利名称一种基于金属探针的太赫兹超分辨成像装置及成像方法
申请号CN201810520030.3申请日期2018-05-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-11-20公开/公告号CN108844914A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N21/3586IPC分类号G;0;1;N;2;1;/;3;5;8;6查看分类表>
申请人南开大学申请人地址
天津市南开区卫津路94号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南开大学当前权利人南开大学
发明人刘伟伟;李帅;龚诚;苏强
代理机构天津耀达律师事务所代理人张耀
摘要
一种基于金属探针的太赫兹超分辨成像装置及成像方法,该技术基于太赫兹波在金属探针上以表面等离激元形式传输至探针针尖处形成远小于太赫兹波长尺寸的太赫兹光斑,在针尖末端近场区域内放置待成像样品,针尖与样品的近场区域内设置垂直度检测模块以及近场距离反馈模块,样品固定于二维电控平移台以在针尖末端进行扫描成像,样品之后放置太赫兹探测器用来探测待成像样品每一个扫描点处透射的太赫兹强度信号,将待成像样品上每一个扫描点处的太赫兹信号强度采集并关联绘图,即可实现样品在太赫兹波段内的超分辨成像,成像分辨率取决于针尖末端尺寸与扫描步进位移,最高分辨率可达纳米量级。

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