晶体的高温退火炉

实用新型专利无效专利

申请号：
CN00216702.6
IPC分类号：--
申请日期：
2000-03-03
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	晶体的高温退火炉
申请号	CN00216702.6	申请日期	2000-03-03
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	上海市嘉定区叶城路1411号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海中科嘉浦光电子材料有限公司	当前权利人	上海中科嘉浦光电子材料有限公司
发明人	徐军;周国清;邓佩珍
代理机构	上海华东专利事务所	代理人	李兰英

摘要

一种晶体的高温退火炉,主要包括在能够密封的钟罩内,同一中心轴线的置有埚托、置于埚托上垫板上的待退火晶体,直径Dh大于待退火晶体直径Dj的恒温筒和直径Df大于恒温筒直径Dh的发热体。发热体的热量以辐射的形式传给待退火晶体。待退火晶体不直接接触发热体,退火的温度是缓缓升高,消除了因温度突然升高而引起待退火晶体炸裂的因素。虽然退火温度可以高达2200℃,但均匀而容易控制。适宜对高温氧化物晶体的退火。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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