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卡盘台、磨削装置及磨削品的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910475572.8
  • IPC分类号:B24B19/00;B24B41/04;B24B41/06;B24B57/02
  • 申请日期:
    2019-06-03
  • 申请人:
    东和株式会社
著录项信息
专利名称卡盘台、磨削装置及磨削品的制造方法
申请号CN201910475572.8申请日期2019-06-03
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-12-24公开/公告号CN110605636A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B19/00IPC分类号B;2;4;B;1;9;/;0;0;;;B;2;4;B;4;1;/;0;4;;;B;2;4;B;4;1;/;0;6;;;B;2;4;B;5;7;/;0;2查看分类表>
申请人东和株式会社申请人地址
日本京都府京都市南区上鸟羽上调子町5番地(邮编:601-8105) 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东和株式会社当前权利人东和株式会社
发明人高森雄大
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司代理人罗英;臧建明
摘要
本发明是一种卡盘台,用于吸附磨削对象物,所述卡盘台包括:本体,具有能够配置磨削对象物的区域;多孔构件,设置于本体的能够配置磨削对象物的区域内;以及吸附孔配置区域,设置于本体的能够配置磨削对象物的区域内,且设置于多孔构件的外侧。本发明的卡盘台能够一方面抑制工序变得复杂,一方面稳定地吸附保持磨削对象物,进而能够抑制磨削品的外观不良或运行不良的产生。本发明也提供一种磨削装置及磨削品的制造方法。

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