图形的不匀缺陷检查方法和装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200480033048.7
IPC分类号：G01B11/30
申请日期：
2004-11-17
申请人：
HOYA株式会社

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著录项信息

专利名称	图形的不匀缺陷检查方法和装置
申请号	CN200480033048.7	申请日期	2004-11-17
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-12-13	公开/公告号	CN1879005
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/30 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/30 用于计量表面的粗糙度和不规则性	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人	HOYA株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	HOYA株式会社	当前权利人	HOYA株式会社
发明人	田中淳一;山口升
代理机构	北京市柳沈律师事务所	代理人	陶凤波;侯宇

摘要

一种图形的不匀缺陷检查方法和装置，其能高精度检查在被检查体表面所形成图形上产生的多种不匀缺陷。不匀缺陷检查装置(10)具有：光源(12)，其对表面具备有单位图形(53)有规律排列的重复图形(51)的光掩模(50)进行光照射；感光部(13)，其接受来自所述光掩模的散射光并把它转换成感光数据，本方法和装置观察该感光数据并检查所述重复图形上产生的不匀缺陷，其特征在于：具有从多个波段的光中选择抽取一个或多个希望波段光的波长滤波器(14)，并使用该选择抽取的波段的光来检查所述重复图形的不匀缺陷。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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