自对准腐蚀制作微结构的方法及其制造的红外探测器

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专利名称	自对准腐蚀制作微结构的方法及其制造的红外探测器
申请号	CN00125862.1	申请日期	2000-10-26
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2001-06-20	公开/公告号	CN1299964
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院上海冶金研究所	申请人地址	上海市长宁区长宁路865号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海冶金研究所	当前权利人	中国科学院上海冶金研究所
发明人	徐峥谊;熊斌;王跃林
代理机构	上海智信专利代理有限公司	代理人	潘振甦

摘要

本发明涉及一种自对准腐蚀制作微结构的方法及其制造的微机械热电堆红外探测器，属于红外探测领域。最为关键的工艺是采用自对准腐蚀技术，制造出周围用空气层减小热耗散、增加热阻的栅状热偶对悬臂结构，不仅简化了微机械热电堆红外探测器的制造工艺，提高了热电转换效率，而且也使制造出来的探测器具有较高的灵敏度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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