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压电驱动的可变形反射镜及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710171222.X
  • IPC分类号:G02B26/08;G03F7/00;H02N2/00
  • 申请日期:
    2007-11-29
  • 申请人:
    上海交通大学
著录项信息
专利名称压电驱动的可变形反射镜及其制造方法
申请号CN200710171222.X申请日期2007-11-29
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日2008-07-23公开/公告号CN101226274
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B26/08IPC分类号G;0;2;B;2;6;/;0;8;;;G;0;3;F;7;/;0;0;;;H;0;2;N;2;/;0;0查看分类表>
申请人上海交通大学申请人地址
上海市闵行区东川路800号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海交通大学当前权利人上海交通大学
发明人李以贵;张俊峰
代理机构上海交达专利事务所代理人王锡麟;王桂忠
摘要
一种光学器件技术领域的压电驱动的可变形反射镜及其制造方法。本发明反射镜中,底座的上面是四个PZT压电驱动器,在四个PZT压电驱动器上面键合了带有四个支撑柱的硅反射镜面,硅反射镜面的边框与底座相连,当施加可调节的电压时,PZT压电驱动器产生的法向压电力使硅反射镜面的中心部分发生板形变最大,形成一个凹凸面。制造方法包括:①带四个支撑柱的硅反射镜面部分的制作工艺;②底座部分的制作工艺;③PZT压电驱动器的制作工艺及Si-Au共晶合金键合。本发明可变形反射镜是由法向压电力来驱动的,只需通过改变施加的外加电压的大小就可快速准确的调节微反射镜焦点,比以往的微反射镜结构更简单,更容易阵列化和变焦控制。

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