坐标检测装置及被检测体检查装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200610001075.7
IPC分类号：G01B11/03
申请日期：
2006-01-16
申请人：
奥林巴斯株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	坐标检测装置及被检测体检查装置
申请号	CN200610001075.7	申请日期	2006-01-16
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-07-26	公开/公告号	CN1808055
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/03 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/03 通过测量各点的坐标〔3〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;3查看分类表>
申请人	奥林巴斯株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	奥林巴斯株式会社	当前权利人	奥林巴斯株式会社
发明人	加藤洋
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	陈坚

摘要

本发明将点光直接照射在被检测体上，稳定地检测出高精度的坐标位置。在被检测体检查装置的摆动保持架上(9)上承载玻璃基板(8)，并设置有可在该玻璃基板(8)的表面上沿X轴方向移动的导向杆(40)。在导向杆(40)上设置有用于向玻璃基板(8)的缺陷照射点光的激光头(44)，并使该激光头(44)可通过第二带(42)沿Y轴方向移动。点光的光束以角度α照射。在进行宏观观察时，通过操作部使导向杆(40)与激光头(44)沿X轴和Y轴方向移动，从而使玻璃基板(8)上的点光移动到缺陷上。以此时各电动机的驱动量作为位置信息，通过坐标检测部求出坐标数据。使具有显微镜功能的观察部移动到坐标位置，以进行缺陷的微观观察。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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