加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

衍射光学元件的制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200580049686.2
  • IPC分类号:G02B5/18
  • 申请日期:
    2005-05-02
  • 申请人:
    冲电气工业株式会社
著录项信息
专利名称衍射光学元件的制造方法
申请号CN200580049686.2申请日期2005-05-02
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2008-04-30公开/公告号CN101171534
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B5/18IPC分类号G;0;2;B;5;/;1;8查看分类表>
申请人冲电气工业株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人冲电气工业株式会社当前权利人冲电气工业株式会社
发明人关川亮;前野仁典
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人黄纶伟
摘要
本发明提供一种可高精度地制造衍射光学元件、可实现衍射效率提高的衍射光学元件的制造方法。使用掩模来反复进行使涂布有抗蚀剂(2)的基板(1)曝光、显影、形成抗蚀剂图形并对该抗蚀剂图形进行蚀刻的一系列的处理,制造具有周期性的阶梯形状的衍射光学元件。在第1处理中,形成与阶梯宽度相同宽度的图形,在以后的处理中,增大图形宽度。在制造7级阶梯形状的衍射光学元件的情况下,当设阶梯的级差为D时,在第1处理中,以深度D对第2、4、6级部分进行蚀刻,在第2处理中,以深度2D对第9级部分进行蚀刻,在第3处理中,以深度2D对第5、6、7级部分进行蚀刻,在第4处理中,以深度2D对第3、4、5、6、7级部分进行蚀刻。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供