一种用于多晶硅铸锭炉的侧面加热器

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721210481.4
IPC分类号：C30B28/06;C30B29/06
申请日期：
2017-09-20
申请人：
山东伟基炭科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于多晶硅铸锭炉的侧面加热器
申请号	CN201721210481.4	申请日期	2017-09-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B28/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B28/00 制备具有一定结构的均匀多晶材料〔5〕 C30B28/04 由液态制备〔5〕 C30B28/06 正常凝固法或温度梯度凝固法〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;8;/;0;6;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	山东伟基炭科技有限公司	申请人地址	山东省济南市高新区综合保税区港兴一路2777号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	山东伟基炭科技有限公司	当前权利人	山东伟基炭科技有限公司
发明人	孔令歆;肖如镜;徐春良;王欢
代理机构	济南诚智商标专利事务所有限公司	代理人	杨先凯

摘要

本实用新型提供了一种用于多晶硅铸锭炉的侧面加热器，所包括的边部加热板、角部加热板以及连接板均为碳‑碳复合材料材质；由于碳‑碳复合材料本身密度比石墨小，所以本申请中的侧面加热器的重量比现有石墨材质的侧面加热器重量减轻了60％；且强度、韧性等力学性能比石墨更好，使得本申请中的侧面加热器比现有的石墨材质的侧面加热器更耐用，使用寿命更长；且在实现同等电加热功率的情况下，本申请中的侧面加热器的壁厚只需要5‑6mm，比石墨材质的侧面加热器的壁厚减薄了10mm以上，从而可以扩大多晶硅铸锭炉内热场的径向尺寸。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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