一种原子蒸汽空间密度分布的测量装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201820947167.2
IPC分类号：G01N9/00
申请日期：
2018-06-20
申请人：
核工业理化工程研究院

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著录项信息

专利名称	一种原子蒸汽空间密度分布的测量装置
申请号	CN201820947167.2	申请日期	2018-06-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N9/00 测试材料的密度或比重；通过测定密度或比重以分析材料	IPC分类号	G;0;1;N;9;/;0;0查看分类表>
申请人	核工业理化工程研究院	申请人地址	天津市河东区津塘路168号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	核工业理化工程研究院	当前权利人	核工业理化工程研究院
发明人	闫超;罗立平;赵国华;刘欢
代理机构	天津创智天诚知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	李薇;田阳

摘要

本实用新型公开了一种原子蒸汽空间密度分布的测量装置,所述测量装置包括沉积板、承托板、镀膜样片和支撑组件，所述沉积板和承托板固定在所述支撑组件上，所述沉积板上设有呈矩阵分布的用于放置镀膜样片的安置孔，所述承托板上设有与所述安置孔一一对应的承托孔，所述镀膜样片的面积大于所述承托孔的面积并小与所述安置孔的面积。本实用新型利用机械结构测量原子蒸汽空间密度分布，结构简单，测量方法简便，测量结果可靠性高。

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