一种基于图像识别的涂胶显影设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202023075874.3
IPC分类号：G03F7/30;G03F7/38
申请日期：
2020-12-18
申请人：
无锡亚迈微电子有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种基于图像识别的涂胶显影设备
申请号	CN202023075874.3	申请日期	2020-12-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/30 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕 G03F7/30 用液体消除影像的〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;3;0;;;G;0;3;F;7;/;3;8查看分类表>
申请人	无锡亚迈微电子有限公司	申请人地址	江苏省无锡市滨湖区万达文化旅游城12-1206 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡亚迈微电子有限公司	当前权利人	无锡亚迈微电子有限公司
发明人	全金花;全金星;张军区
代理机构	南京北辰联和知识产权代理有限公司	代理人	王俊

摘要

本实用新型提供一种基于图像识别的涂胶显影设备，包括主体，主体的内部嵌入设置有显影板，主体的表面固定设置有控制面板，主体的顶端固定连接有气泵和胶箱，气泵和胶箱的外端分别配套连接有连通管和胶液管，显影板的内部嵌入设置有导热板，导热板的表面固定连接有加热管。配合导热板有效的从而显影板的内部对显影板上的显影液进行预热处理，控制装置通知推杆横向伸缩，从而带动连接横板进行横向移动，同时通过清理嘴从而对主体内部进行清理，而扩展板的设置，使得涂胶头和清理嘴处于不同高度，有利于清理和涂胶的操作。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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