真空镀膜系统及其翻板阀

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921469717.5
IPC分类号：C23C14/56
申请日期：
2019-09-04
申请人：
川北真空科技（北京）有限公司

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著录项信息

专利名称	真空镀膜系统及其翻板阀
申请号	CN201921469717.5	申请日期	2019-09-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人	川北真空科技（北京）有限公司	申请人地址	北京市昌平区振兴路36号5楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	川北真空科技（北京）有限公司	当前权利人	川北真空科技（北京）有限公司
发明人	张智明;靳毅;田旭;孙围华
代理机构	北京三聚阳光知识产权代理有限公司	代理人	于妙卓

摘要

本实用新型提供了一种真空镀膜系统及其翻板阀，用于密封真空腔体上的阀门通径，包括阀板、摆杆组件以及驱动组件，阀板用于封堵阀门通径，阀板的一侧与真空腔体的内壁转动连接；摆杆组件与真空腔体内壁转动连接，摆杆组件包括与阀板的另一侧铰接的第一摆杆以及与真空腔体的内壁转动连接的第二摆杆，第一摆杆和第二摆杆相铰接；驱动组件驱动第二摆杆转动。本实用新型提供的真空镀膜系统及其翻板阀，摆杆组件可以在驱动组件的驱动下带动阀板的翻转，驱动组件之间由两个摆杆相铰接进行摆动的传递，能够有效的避免整个摆杆组件因为转动过于频繁从而导致螺栓松动的问题，保证翻板阀的平稳运行且使用寿命更长。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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