镀膜玻璃用硅靶水冷却系统

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201320709867.5
IPC分类号：C03C17/00
申请日期：
2013-11-12
申请人：
无锡康力电子有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	镀膜玻璃用硅靶水冷却系统
申请号	CN201320709867.5	申请日期	2013-11-12
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C03C17/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C03 玻璃；矿棉或渣棉 C03C 玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合 C03C17/00 纤维或丝之外玻璃，例如微晶玻璃的涂覆法表面处理	IPC分类号	C;0;3;C;1;7;/;0;0查看分类表>
申请人	无锡康力电子有限公司	申请人地址	江苏省无锡市宜兴市新建工业园166号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	无锡康力电子有限公司	当前权利人	无锡康力电子有限公司
发明人	曹俊
代理机构	南京天华专利代理有限责任公司	代理人	徐冬涛;苗建

摘要

本实用新型公开了一种镀膜玻璃用硅靶水冷却系统，其特征是它包括有靶水冷座（1），所述靶水冷座（1）中设有水冷隔离板（2），水冷隔离板（2）的上方形成冷却水槽，水冷隔离板（2）的下方设有磁铁（3），在所述冷却水槽的上方设有铜背板（4），铜背板（4）的上方设有硅靶（5）。本实用新型结构简单实用，设计合理，改进后的水冷系统将冷却水与磁铁隔离，能有效提高产品的稳定性，节约了生产成本。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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