涂覆显影装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201010100083.3
IPC分类号：G03F7/00
申请日期：
2010-01-22
申请人：
东京毅力科创株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	涂覆显影装置
申请号	CN201010100083.3	申请日期	2010-01-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2010-07-28	公开/公告号	CN101788764A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本国东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	月野木涉
代理机构	北京尚诚知识产权代理有限公司	代理人	龙淳

摘要

本发明提供一种涂覆显影装置，其能够在装置发生故障时迅速地回收基板。该涂覆显影装置包括：载置收纳多个基板的载体并且交接机构能够进入上述载体的交接用载置部；载置上述载体的多个退避用载置部；和在这些退避用载置部与上述交接用载置部之间进行载体的移载的载体搬送机构，在该涂覆显影装置中，当装置发生故障时，决定故障发生时将载置于上述处理部的各模块中的基板回收于原来的载体的回收顺序，对上述载体搬送机构进行控制，使得按照上述决定的回收顺序，在上述交接用载置部与退避用载置部之间移载载体，按照上述决定的回收顺序，将基板搬送至上述交接用载置部上的原来的载体。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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