一种硅片清洗机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201120420325.7
IPC分类号：B08B3/04;B08B3/08
申请日期：
2011-10-28
申请人：
镇江仁德新能源科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种硅片清洗机
申请号	CN201120420325.7	申请日期	2011-10-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/04 与液体接触的清洁	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;0;4;;;B;0;8;B;3;/;0;8查看分类表>
申请人	镇江仁德新能源科技有限公司	申请人地址	江苏省镇江市扬中市经济开发区港隆路998号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	镇江仁德新能源科技有限公司	当前权利人	镇江仁德新能源科技有限公司
发明人	杨福平
代理机构	北京金信立方知识产权代理有限公司	代理人	黄威;郭迎侠

摘要

本实用新型涉及一种硅片清洗机，包括依次排成一排的第一纯水槽、第一清洗槽、第二清洗槽、第三清洗槽、第二纯水槽、第三纯水槽和第四纯水槽，还包括与所述第二纯水槽连通的第一辅槽及自所述第一辅槽向所述第一纯水槽泵水的第一水泵，所述第一水泵与所述第一纯水槽之间连接有水管。本实用新型克服了现有的硅片清洗机纯水及能源浪费严重导致硅片清洗成本高的缺点，提供一种可大大节省纯水及热能从而降低硅片清洗成本的硅片清洗机。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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