设备应用监控方法、半导体工艺设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202011503927.9
IPC分类号：G06F11/30;G06F11/32;G06F11/34
申请日期：
2020-12-18
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	设备应用监控方法、半导体工艺设备
申请号	CN202011503927.9	申请日期	2020-12-18
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-03-26	公开/公告号	CN112559292A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06F11/30 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06F 电数字数据处理（基于特定计算模型的计算机系统入G06N） G06F11/00 错误检测；错误校正；监控（在基于记录载体和传感器之间的相对运动而实现的信息存储中的错误检测、校正或监控所用的方法或装置入 G11B 20/18；监控，即，监控记录或重现的进程入G11B 27/36；静态存储中所用的方法或装置入G11C29/00）〔1，4，2006.01〕 G06F11/30 监控〔3〕	IPC分类号	G;0;6;F;1;1;/;3;0;;;G;0;6;F;1;1;/;3;2;;;G;0;6;F;1;1;/;3;4查看分类表>
申请人	北京北方华创微电子装备有限公司	申请人地址	北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	杨园
代理机构	北京润泽恒知识产权代理有限公司	代理人	莎日娜

摘要

本申请实施例提供了设备应用监控方法、半导体工艺设备，该方法包括：获取设备应用的监控数据，监控数据包括：监控时间段内的每一个子时间段的输入输出量和硬件资源消耗量；对于每一个子时间段，在子时间段满足预警条件的情况下，生成子时间段对应的预警信息和子时间段对应的第一接口调用概率分布信息；显示子时间段对应的预警信息和第一接口调用概率分布信息。本申请实施例提供的技术方案可以自动对设备应用进行监控，降低确定设备应用在代码设计上的问题的成本，以及提升确定设备应用在代码设计上的问题的准确性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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