F-P谐振腔型光学加速度计

发明专利有效专利

申请号：
CN202110853866.7
IPC分类号：G01P15/03
申请日期：
2021-07-27
申请人：
百易晟信息科技（苏州）有限公司

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专利名称	F-P谐振腔型光学加速度计
申请号	CN202110853866.7	申请日期	2021-07-27
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-26	公开/公告号	CN113552385A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/03 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/03 利用非电的方法〔3〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;0;3查看分类表>
申请人	百易晟信息科技（苏州）有限公司	申请人地址	江苏省苏州市姑苏区虎丘路388号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	百易晟信息科技（苏州）有限公司	当前权利人	百易晟信息科技（苏州）有限公司
发明人	刘晓海;吴盟
代理机构	北京商专润文专利代理事务所（普通合伙）	代理人	王祖悦

摘要

本申请公开了F‑P谐振腔型光学加速度计，包括第一衬底，第一衬底的一侧设置有下沉平台，下沉平台的底部设置有半球形凹透镜，半球形凹透镜的表面设置有第一金属反射膜，第一衬底设置有下沉平台的一侧与第二衬底键合；质量块设置在第二衬底的中空腔内，质量块与第二衬底通过若干悬臂梁连接，质量块靠近半球形凹透镜的一侧设置有第二金属反射膜。本申请公开的F‑P谐振腔型光学加速度计，通过设置稳定的谐振腔，降低了光学加速度计中的光学损耗，提高加速度计的测量精度；可以根据出射光波长的改变反推谐振腔长度的改变，从而实现加速度的测量，结构简单，集成度高，生产成本低，利于光学加速度计的广泛应用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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