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真空腔室电极引出装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210223154.8
  • IPC分类号:H01J37/248
  • 申请日期:
    2012-06-29
  • 申请人:
    昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司
著录项信息
专利名称真空腔室电极引出装置
申请号CN201210223154.8申请日期2012-06-29
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2012-10-17公开/公告号CN102737936A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J37/248IPC分类号H;0;1;J;3;7;/;2;4;8查看分类表>
申请人昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司申请人地址
四川省成都市高新区天映路146号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人成都辰显光电有限公司当前权利人成都辰显光电有限公司
发明人高峰;邱勇;黄秀颀;刘祥超;钟立华;陈策
代理机构北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司代理人孙皓晨
摘要
本发明提供一种真空腔室电极引出装置,包括引出装置底座、内部电极以及电极固定锁紧帽,底座密封连接于真空腔室的腔室底板的外侧面,内设通孔,通孔中形成有一个台肩;内部电极的两端之间形成有一个上凸肩与一个下凸肩,其腔室引出端从所述底座的通孔中不接触地通过,在所述上凸肩与所述台肩之间夹设有第一O型密封圈;所述锁紧帽固定在底座上,其具有一个伸入所述通孔中的限位管,并在所述限位管端部与所述下凸肩之间夹设有第二O型密封圈,所述内部电极的外部引出端从所述限位管中不接触地通过。由于本发明置于真空腔室外部,能够避免本发明受到腔室内高温的影响,并通过采用双密封圈结构代替原金属密封及绝缘结构,节约了结构成本和维护成本。

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