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溅射靶

发明专利有效专利

申请号：
CN201980056062.5
IPC分类号：H01J37/34;C23C14/34;C23C4/12
申请日期：
2019-10-06
申请人：
梭莱先进镀膜工业公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	溅射靶
申请号	CN201980056062.5	申请日期	2019-10-06
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-04-09	公开/公告号	CN112640029A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/34 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B） H01J37/34 用阴极溅射工作的（H01J 37/36优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;4;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;3;C;4;/;1;2查看分类表>
申请人	梭莱先进镀膜工业公司	申请人地址	比利时丹泽变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	梭莱先进镀膜工业公司	当前权利人	梭莱先进镀膜工业公司
发明人	W·德博斯谢尔;I·卡雷蒂吉安加斯普罗;D·K·德布鲁恩;H·埃利亚诺;F·法克;T·科唐
代理机构	中国贸促会专利商标事务所有限公司	代理人	谭冀

摘要

在第一方面，本发明涉及平面溅射靶(400)，其包含由急冷物叠层累积的靶材料层(410)，其中该靶材料层(410)具有层宽度(w)并具有跨该层宽度(w)变化的显微组织。在第二方面，本发明涉及制造这样的平面溅射靶(400)的方法。

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