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用于等离子体羽流的过滤器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110191074.8
  • IPC分类号:C23C14/28;C23C14/54;B01D46/00;B01D46/42
  • 申请日期:
    2021-02-19
  • 申请人:
    索尔玛特斯有限责任公司
著录项信息
专利名称用于等离子体羽流的过滤器
申请号CN202110191074.8申请日期2021-02-19
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-09-07公开/公告号CN113355641A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/28IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;8;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4;;;B;0;1;D;4;6;/;0;0;;;B;0;1;D;4;6;/;4;2查看分类表>
申请人索尔玛特斯有限责任公司申请人地址
荷兰恩斯赫德 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人索尔玛特斯有限责任公司当前权利人索尔玛特斯有限责任公司
发明人J·M·德克斯;K·H·A·玻姆;W·C·L·霍普曼;J·A·霍伊费尔;J·A·扬森斯
代理机构中国贸促会专利商标事务所有限公司代理人许剑桦
摘要
本发明涉及一种用于从等离子体羽流中过滤颗粒的过滤器,其包括:壳体,该壳体有两个穿透开口,穿透开口布置在壳体壁中,并形成用于至少一部分等离子体羽流穿过壳体的穿透槽道,穿透槽道从壳体的一侧延伸至相对侧;至少一个第一叶片,其布置在离旋转轴线一定距离处且可绕其旋转,旋转轴线与穿透槽道的中心线平行和间隔开,至少一个第一叶片的通路与穿透槽道相交,至少一个第一叶片有用于与等离子体羽流接触的接触表面,接触表面面向旋转方向;排出槽道,排出槽道与布置在壳体壁中的排出开口连接,其中,与穿透槽道的中心线和从旋转轴线延伸的径向线都垂直地延伸的线延伸穿过排出开口,径向线延伸通过穿透槽道的中心线和至少一个第一叶片的通路。

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