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具有第二位效应抑制的局部分离浮置栅元件及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200510051066.4
  • IPC分类号:H01L29/788;H01L27/115
  • 申请日期:
    2005-03-01
  • 申请人:
    旺宏电子股份有限公司
著录项信息
专利名称具有第二位效应抑制的局部分离浮置栅元件及其制造方法
申请号CN200510051066.4申请日期2005-03-01
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2005-10-19公开/公告号CN1684274
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/788
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;8;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;5查看分类表>
申请人旺宏电子股份有限公司申请人地址
中国台湾 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人旺宏电子股份有限公司当前权利人旺宏电子股份有限公司
发明人吕函庭
代理机构北京中原华和知识产权代理有限责任公司代理人寿宁;张华辉
摘要
本发明是有关于一种用漏极耦合抑制局部分离浮置栅元件的第二位效应的方法。通过适当的设计栅极和漏极重叠的区域,以使漏极耦合系数能被控制,进而在进行逆向读取操作时能有效地抑制第二位效应。然而,改良过的逆向读取方法,例如“提升源极电压Vs”,也可被用来进一步改善漏极耦合效应而没有读取干扰。再者,漏极耦合可以改善沟道热电子注入的效率。

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