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一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110012866.4
  • IPC分类号:G01R31/28
  • 申请日期:
    2021-01-06
  • 申请人:
    上海燧原智能科技有限公司
著录项信息
专利名称一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质
申请号CN202110012866.4申请日期2021-01-06
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-05-25公开/公告号CN112834911A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01R31/28IPC分类号G;0;1;R;3;1;/;2;8查看分类表>
申请人上海燧原智能科技有限公司申请人地址
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区业盛路188号A-522室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海燧原智能科技有限公司当前权利人上海燧原智能科技有限公司
发明人尹鹏跃;张水英
代理机构北京品源专利代理有限公司代理人孟金喆
摘要
本发明实施例公开了一种电迁移测试方法、装置、设备及存储介质。其中,该方法包括:根据芯片中的待测试链路的仿真模型,确定待测试链路的标准电阻;根据电迁移仿真测试过程中的多组仿真测试数据确定待测试链路的失效时间计算公式;确定与待测试链路对应的多组电迁移测试条件;控制电迁移测试系统对与待测试链路对应的电迁移测试样品进行电迁移测试,得到与各组电迁移测试条件对应的测试样品失效时间;根据各组电迁移测试条件中的预期失效时间与所对应的测试样品失效时间的比对结果,确定待测试链路的电迁移测试结果。本发明实施例可以对芯片中的链路进行电迁移测试,确定芯片中各链路的整个链路结构的电迁移实际情况。

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