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一种铁电存储器、铁电存储器的制备方法及控制方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910251650.6
  • IPC分类号:H01L29/78;H01L27/1159;H01L21/336;G11C11/22
  • 申请日期:
    2019-03-29
  • 申请人:
    中国科学院微电子研究所
著录项信息
专利名称一种铁电存储器、铁电存储器的制备方法及控制方法
申请号CN201910251650.6申请日期2019-03-29
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-06-07公开/公告号CN109860304A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/78
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;7;8;;;H;0;1;L;2;7;/;1;1;5;9;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6;;;G;1;1;C;1;1;/;2;2查看分类表>
申请人中国科学院微电子研究所申请人地址
北京市朝阳区北土城西路3号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院微电子研究所当前权利人中国科学院微电子研究所
发明人霍宗亮;闫亮;李春龙;邹兴奇;洪培真;张瑜;靳磊
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人骆宗力;王宝筠
摘要
本申请提供了一种铁电存储器、铁电存储器的制备方法及控制方法,其中,铁电存储器将沟道结构、源极和漏极设置于高于第一区域和第二区域的鳍部中,使得沟道结构的第一方向两侧可以分别设置第一控制结构和第二控制结构,本申请实施例提供的铁电存储器中的铁电层面积不占用平行于衬底表面的面积,可以使较小尺寸的铁电存储器具有较大面积的铁电层,有利于提升铁电存储器的栅极控制能力。并且由于第一控制结构和第二控制结构可以根据接收的不同电压实现不同的操作,即可以将对铁电存储器的读取操作、编写操作和擦除操作通过对不同的栅极施加不同的电压实现,降低了编写和擦除操作时介质层的电场,改善了铁电存储器的耐久性、保持特性及读取速度。

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