基于飞秒激光刻蚀的蓝宝石光纤法珀传感器制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201811315399.7
IPC分类号：G01K11/32;B23K26/362
申请日期：
2018-11-06
申请人：
天津大学

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著录项信息

专利名称	基于飞秒激光刻蚀的蓝宝石光纤法珀传感器制作方法
申请号	CN201811315399.7	申请日期	2018-11-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-04-09	公开/公告号	CN109596243A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01K11/32 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01K 温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件（辐射高温测定法入G01J 5/00） G01K11/00 不包括在G01K 3/00，G01K 5/00，G01K 7/00或G01K 9/00各组的以物理或化学变化为基础的温度测量 G01K11/32 利用在光纤中的透射、散射或荧光的变化〔6〕	IPC分类号	G;0;1;K;1;1;/;3;2;;;B;2;3;K;2;6;/;3;6;2查看分类表>
申请人	天津大学	申请人地址	天津市南开区卫津路92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天津大学	当前权利人	天津大学
发明人	刘铁根;王双;江俊峰;于迅;刘琨;张学智;吴志洋;王润东
代理机构	天津市北洋有限责任专利代理事务所	代理人	李素兰

摘要

本发明公开了一种基于飞秒激光刻蚀的蓝宝石光纤法珀传感器及其制作方法，该传感器结构包括蓝宝石光纤(1)、石英光纤(5)及连接这两种光纤的异质光纤熔接点(6)，所述蓝宝石光纤(1)尾端具有通过飞秒激光刻蚀加工的法珀微腔(2)，法珀微腔(2)所具有的第一反射面(3)和第二反射面(4)产生的两束反射光发生干涉且产生干涉信号(11)；当所处的环境温度发生变化时，所述法珀微腔(2)的腔长和材料折射率发生变化，两束反射光之间的光程差随之发生变化，从而导致干涉信号(11)的变化；通过解调干涉信号得到法珀光程差，进而得到被测温度。本发明具有理论创新性，尺寸小、环境适应力强的特点，可用于狭窄测量环境下的高温精确传感。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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