机械手及晶片处理系统

发明专利有效专利

申请号：
CN200810222607.9
IPC分类号：--
申请日期：
2008-09-18
申请人：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	机械手及晶片处理系统
申请号	CN200810222607.9	申请日期	2008-09-18
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2010-03-24	公开/公告号	CN101677077
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	陈德高
代理机构	北京凯特来知识产权代理有限公司	代理人	赵镇勇

摘要

本发明公开了一种机械手及晶片处理系统，机械手包括机械手臂、末端执行器，机械手臂的前端设有卡槽，末端执行器的后端插入卡槽中，并通过螺钉固定连接，增大了整体的刚性，从而减少了机械手运行过程中的振动；末端执行器的上平面设有凹槽，凹槽的平面形状与被加工晶片的平面形状相适应，被加工晶片恰可放入凹槽中，使机械手运动期间将晶片保持在固定位置，增强晶片的稳定性。可以增加机械手的运行速率，从而增大晶片处理系统单位时间内的产量，同时避免晶片与末端执行器的摩擦，保证处理工艺的正常进行，并保护晶片。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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