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钼铌合金板靶材加工工艺

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210009053.0
  • IPC分类号:C23C14/34;B22F3/16
  • 申请日期:
    2012-01-12
  • 申请人:
    宝鸡市科迪普有色金属加工有限公司
著录项信息
专利名称钼铌合金板靶材加工工艺
申请号CN201210009053.0申请日期2012-01-12
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-07-11公开/公告号CN102560383A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;B;2;2;F;3;/;1;6查看分类表>
申请人宝鸡市科迪普有色金属加工有限公司申请人地址
陕西省宝鸡市东开发区永清工业园钛城路29号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宝鸡市科迪普有色金属加工有限公司当前权利人宝鸡市科迪普有色金属加工有限公司
发明人陈玉柱
代理机构宝鸡市新发明专利事务所代理人席树文
摘要
一种钼铌合金板靶材的加工工艺,按照如下步骤实施:(1)混合:将定量钼粉与铌粉各分为至少三小份,然后每小份钼粉与铌粉再分别混合成小份混合粉,每小份混合粉经过多次混合和过筛后,多个小份混合粉再合成为混合合金粉;然后再将混合合金粉至少分三组分别混料最后合成一起,再混料成为成分均匀的合金粉;(2)成型:经过等静压压成合金坯,进入高温中频炉在氢气保护下烧结,烧结温度分三个温区:0-800℃、800-1600℃、1600-2000℃并且每个温度区至少烧结3小时,最终烧成合金坯状;(3)锻造和轧制:再经过1200-1400℃高温锻造制密后进入高温炉1500-1600℃的加热温度进行轧制成备料规格的板材;(4)精加工:经切割、精磨、机加成为钼铌合金板靶材成品。本发明所得到的坯料呈现出比较细化晶粒,晶粒的大小趋于一致。

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