二氧化硅类正型感光性树脂组合物

发明专利无效专利

申请号：
CN200910004721.9
IPC分类号：G03F7/075;G03F7/00;G02F1/136;C08L83/04;H01L21/31;H01L27/32
申请日期：
2009-02-20
申请人：
日立化成工业株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	二氧化硅类正型感光性树脂组合物
申请号	CN200910004721.9	申请日期	2009-02-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2009-10-07	公开/公告号	CN101551589
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/075 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕 G03F7/075 含硅的化合物〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;7;5;;;G;0;3;F;7;/;0;0;;;G;0;2;F;1;/;1;3;6;;;C;0;8;L;8;3;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;3;1;;;H;0;1;L;2;7;/;3;2查看分类表>
申请人	日立化成工业株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日立化成工业株式会社	当前权利人	日立化成工业株式会社
发明人	小岛恭子;阿部浩一
代理机构	北京市金杜律师事务所	代理人	杨宏军

摘要

本发明涉及一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物，作为平板显示器等的绝缘膜材料，具有正型感光特性、透明性、感光性、耐热性高、并且介电常数低。使用一种二氧化硅类正型感光性树脂组合物作为绝缘膜材料，所述二氧化硅类正型感光性树脂组合物含有下述成分：成分(a)R1OCOASiX3(R1、A表示有机基团、X为水解性基团)表示的硅氧烷树脂；成分(b)具有能在酸的作用下分解的官能团、在酸的作用下对碱显影液的溶解性增大的阻溶化合物；成分(c)作为在光或电子射线的照射下产生酸的化合物的产酸剂；成分(d)能溶解成分(a)的溶剂，组合物中的成分(a)的配合比例为5～50重量％。

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