一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器

1.一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器，包括单晶炉体和设置在单晶炉体内的圆筒形石墨加热本体（1），其特征在于，
石墨加热本体（1）的上端设有至少一组电极连接脚（10），
石墨加热本体（1）与单晶炉体底壁（2）之间设有沿圆周阵列排布的支撑块（3），支撑块（3）的上端至少设有一条第一弧形凹槽（30），第一弧形凹槽（30）的形状和大小与石墨加热本体（1）下端的形状和大小相匹配，支撑块（3）的下端能够活动的连接在单晶炉体的底壁上。
2.根据权利要求1所述的一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器，其特征在于，所述单晶炉体的底壁上设有凸块（20），支撑块（3）的下端设有第一定位凹槽（32），第一定位凹槽（32）能够卡接在凸块（20）上，且第一定位凹槽（32）卡接在凸块（20）上时第一弧形凹槽（30）处于与石墨加热本体（1）同轴心的位置。
3.根据权利要求2所述的一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器，其特征在于，所述支撑块（3）的上端还设有数条与第一弧形凹槽（30）交叉在一起的备用弧形凹槽（31），数条备用弧形凹槽（31）的平均半径不同，任意一条备用弧形凹槽（31）的平均半径与第一弧形凹槽（30）的平均半径不同。
4.根据权利要求3所述的一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器，其特征在于，所述支撑块（3）的上端设有一条第一弧形凹槽（30）和两条备用弧形凹槽（31），第一弧形凹槽（30）和两条备用弧形凹槽（31）呈米子形排布。
5.根据权利要求3或4所述的一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器，其特征在于，所述支撑块（3）的下端设有与备用弧形凹槽（31）相配合的备用定位凹槽（33），备用定位凹槽（33）卡接在凸块（20）上时备用弧形凹槽（31）处于与石墨加热本体（1）同轴心的位置。
6.根据权利要求5所述的一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器，其特征在于，所述支撑块（3）的下端设有一条第一定位凹槽（32）和两条备用定位凹槽（33），第一定位凹槽（32）和备用定位凹槽（33）呈米子形排布。
7.根据权利要求1所述的一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器，其特征在于，所述电极连接脚（10）包括与石墨加热本体（1）为一体的固定脚（100）以及与固定脚（100）贴合连接在一起的活动石墨板（101）。
8.根据权利要求1所述的一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器，其特征在于，所述支撑块（3）为柱形块。
9.根据权利要求5所述的一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器，其特征在于，所述凸块（20）为矩形块，相应的，第一定位凹槽（32）和备用定位凹槽（33）为条形槽。

一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器\n技术领域\n[0001] 本实用新型涉及熔融液提拉法的单晶生长设备领域，具体涉及一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器。\n背景技术\n[0002] 单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热本体将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。石墨加热本体由于容易粘附杂质影响其导电性，需要定期清理，而现有的石墨加热本体的电极连接脚都设置在其下端，一方面用于连接电极，另一方面用于支撑石墨加热本体。但是，这样对石墨加热本体的拆装造成不便，而且电极连接脚对石墨加热本体的支撑点少，石墨加热本体变形度大。\n实用新型内容\n[0003] 本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术的直拉单晶石墨加热器的石墨加热本体的支撑结构支撑效果不佳且电极不方便拆卸的不足，提供一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器。\n[0004] 本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：\n[0005] 一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器，包括单晶炉体和设置在单晶炉体内的圆筒形石墨加热本体，其特征在于，\n[0006] 石墨加热本体的上端设有至少一组电极连接脚，\n[0007] 石墨加热本体与单晶炉体底壁之间设有沿圆周阵列排布的支撑块，支撑块的上端至少设有一条第一弧形凹槽，第一弧形凹槽的形状和大小与石墨加热本体下端的形状和大小相匹配，支撑块的下端能够活动的连接在单晶炉体的底壁上。\n[0008] 优选的，所述单晶炉体的底壁上设有凸块，支撑块的下端设有第一定位凹槽，第一定位凹槽能够卡接在凸块上，且第一定位凹槽卡接在凸块上时第一弧形凹槽处于与石墨加热本体同轴心的位置。\n[0009] 优选的，所述支撑块的上端还设有数条与第一弧形凹槽交叉在一起的备用弧形凹槽，数条备用弧形凹槽的平均半径不同，任意一条备用弧形凹槽的平均半径与第一弧形凹槽的平均半径不同。\n[0010] 优选的，所述支撑块的上端设有一条第一弧形凹槽和两条备用弧形凹槽，第一弧形凹槽和两条备用弧形凹槽呈米子形排布。\n[0011] 优选的，所述支撑块的下端设有与备用弧形凹槽相配合的备用定位凹槽，备用定位凹槽卡接在凸块上时备用弧形凹槽处于与石墨加热本体同轴心的位置。\n[0012] 优选的，所述支撑块的下端设有一条第一定位凹槽和两条备用定位凹槽，第一定位凹槽和备用定位凹槽呈米子形排布。\n[0013] 优选的，所述电极连接脚包括与石墨加热本体为一体的固定脚以及与固定脚贴合连接在一起的活动石墨板。\n[0014] 优选的，所述支撑块为柱形块。\n[0015] 优选的，所述凸块为矩形块，相应的，第一定位凹槽和备用定位凹槽为条形槽。\n[0016] 本实用新型的有益效果是：\n[0017] 1.本实用新型通过设置石墨加热本体的上端设有至少一组电极连接脚,与现有技术中电机连接脚设置在石墨加热本体下端相比，石墨加热本体连接和拆卸电极的操作更为方便，满足实际生产中需要经常拆卸石墨加热本体进行清理的需求。\n[0018] 2.本实用新型设置了支撑块，支撑块与设置在石墨加热本体上端的电极连接脚相配合，对石墨加热本体起到稳定的支撑作用，并且支撑块可以设计成非常小的体积，不影响石墨加热本体底部空气的流通和热量的传导，保证了对坩埚较为均匀的加热效果。\n[0019] 3.本实用新型设置了第一弧形凹槽和备用弧形凹槽，上述凹槽的平均半径各不相同，第一定位凹槽卡接在凸块上时第一弧形凹槽处于与石墨加热本体同轴心的位置，或者备用定位凹槽卡接在凸块上时备用弧形凹槽处于与石墨加热本体同轴心的位置，实现支撑块能够应用到不同直径的单晶炉内，支撑块的通用性强、具有很强的实用性。\n附图说明\n[0020] 图1是本实用新型的立体结构示意图；\n[0021] 图2是本实用新型的俯视结构示意图；\n[0022] 图3是本实用新型的单晶炉体底壁的结构示意图；\n[0023] 图4是本实用新型支撑块的立体结构示意图；\n[0024] 图5是本实用新型支撑块的俯视图；\n[0025] 图6是本实用新型支撑块的仰视图；\n[0026] 图中：1.石墨加热本体，10.电极连接脚，100.固定脚，101.活动石墨板，102.石墨螺丝，2.单晶炉体底壁，20.凸块，3.支撑块，30.第一弧形凹槽，31.备用弧形凹槽，32.第一定位凹槽，33.备用定位凹槽。\n具体实施方式\n[0027] 下面结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实施例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。\n[0028] 如图1至图6所示，本实施例的一种稳定性好的直拉单晶石墨加热器，包括单晶炉体和设置在单晶炉体内的圆筒形石墨加热本体1。\n[0029] 石墨加热本体1的上端设有至少一组电极连接脚10，优选的，如图1所示，所述电极连接脚10包括与石墨加热本体1为一体的固定脚100以及与固定脚100贴合连接在一起的活动石墨板101，可以用石墨螺丝102将活动石墨板101紧固在固定脚100上。正负电极可拆卸的连接在活动石墨板101上，活动石墨板101与电极连接时产生磨损不能使用时，可以方便的将活动石墨板101从固定脚100上拆卸下来进行更换。\n[0030] 石墨加热本体1与单晶炉体底壁2之间设有沿圆周阵列排布的支撑块3，支撑块3的结构如图4和图5所示，优选的，所述支撑块3为柱形块，其可以是圆柱形、方柱形，当然也可以是梯形柱等形状，支撑块3可以设四个，当然也可以设置更多。支撑块3由耐高温的绝缘材料制成，例如，氧化铝陶瓷。\n[0031] 支撑块3的上端至少设有一条第一弧形凹槽30，第一弧形凹槽30的形状和大小与石墨加热本体1下端的形状和大小相匹配，优选的，所述支撑块3的上端还设有数条与第一弧形凹槽30交叉在一起的备用弧形凹槽31，数条备用弧形凹槽31的平均半径不同，任意一条备用弧形凹槽31的平均半径与第一弧形凹槽30的平均半径不同。如图5所示，第一弧形凹槽30的平均半径为R1,其中一条备用弧形凹槽31的平均半径为R2,另一条备用弧形凹槽31的平均半径为R3，R1、R2和R3不相等。\n[0032] 支撑块3的下端能够活动的连接在单晶炉体的底壁上，作为一种可选的实施方式，所述单晶炉体的底壁上设有如图3所示的凸块20，凸块20的数量与支撑块3的数量相等；如图6所示，支撑块3的下端设有第一定位凹槽32，第一定位凹槽32能够卡接在凸块20上，且第一定位凹槽32卡接在凸块20上时第一弧形凹槽30处于与石墨加热本体1同轴心的位置。所述支撑块3的下端还设有与备用弧形凹槽31相配合的备用定位凹槽33，备用定位凹槽33卡接在凸块20上时备用弧形凹槽31处于与石墨加热本体1同轴心的位置。\n[0033] 进一步的，本实施例中所述凸块20为矩形块，相应的，第一定位凹槽32和备用定位凹槽33为条形槽。所述支撑块3的上端设有一条第一弧形凹槽30和两条备用弧形凹槽31，第一弧形凹槽30和两条备用弧形凹槽31呈米子形排布。所述支撑块3的下端设有一条第一定位凹槽32和两条备用定位凹槽33，第一定位凹槽32和备用定位凹槽33呈米子形排布。可以理解的是，可以根据生产需求，如单晶炉的规格数量，来设定备用弧形凹槽31的数量和大小。\n[0034] 显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

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