一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200510026156.8
IPC分类号：--
申请日期：
2005-05-25
申请人：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所

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专利名称	一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法
申请号	CN200510026156.8	申请日期	2005-05-25
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2005-11-23	公开/公告号	CN1699960
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	申请人地址	上海市长宁区长宁路865号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	当前权利人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人	鲍海飞;李昕欣
代理机构	上海智信专利代理有限公司	代理人	潘振甦

摘要

一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法，具体步骤是(1)首先将已知弹性系数ko的带有探针的悬臂梁安装在原子力显微镜夹具中，将已知悬臂梁与一个硬基底接触获得其总形变量δtot；(2)将未知悬臂梁或者微结构放置在测试基座上，将已知悬臂梁与未知悬臂梁的上表面相互接触，获得在未知悬臂梁上的形变量δt1；(3)再将未知悬臂梁微结构翻转180度，进行与步骤(2)相同的测试获得形变量δt2；(4)再采用δtest＝(δt1+δt2)/2计算出平均形变量；(5)再利用公式见右下式进行计算，得到弹性系数；式中，θ为两个悬臂梁之间的夹角，0.3ko＜k＜3ko。本方法可扩展测试其他微结构单元或器件的弹性系数或其他力学量。

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