一种抗冲击压力传感器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201220092800.7
IPC分类号：G01L1/14;B81B7/00
申请日期：
2012-03-13
申请人：
东莞市五峰科技有限公司;湛江市科海科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种抗冲击压力传感器
申请号	CN201220092800.7	申请日期	2012-03-13
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/14 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕 G01L1/14 通过测量电元件的电容量或电感量的变化，例如，测量电振荡器的频率变化	IPC分类号	G;0;1;L;1;/;1;4;;;B;8;1;B;7;/;0;0查看分类表>
申请人	东莞市五峰科技有限公司;湛江市科海科技有限公司	申请人地址	广东省东莞市松山湖产业园区礼宾路松科苑10号楼4楼东莞市五峰科技有限公司变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞市五峰科技有限公司,湛江市科海科技有限公司	当前权利人	东莞市五峰科技有限公司,湛江市科海科技有限公司
发明人	杨汇鑫
代理机构	东莞市华南专利商标事务所有限公司	代理人	刘克宽

摘要

本实用新型涉及传感器技术领域，尤其涉及一种抗冲击压力传感器，其结构包括有基板、悬臂梁、电极和绝缘层，绝缘层设置于基板，电极设置于绝缘层，悬臂梁的一端设置于电极，悬臂梁的另一端悬空，悬臂梁长度设置为小于或等于50微米，悬臂梁悬空部分的长度设置为小于或等于10微米。现有技术的悬臂梁长度一般为50至200微米，但抗高振动冲击能力差，本实用新型通过缩短悬臂梁的长度和悬臂梁悬空部分的长度以提高抗高振动冲击的能力，有效地解决了基于悬臂梁的传感器易受振动冲击损坏的缺点，扩大了传感器的应用范围，传感器结构简单，生产成本低，制造工艺简单。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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