光学设备用检查装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200780042080.5
IPC分类号：G01M11/00;G01R1/073;H01L21/66
申请日期：
2007-11-09
申请人：
日本电子材料株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光学设备用检查装置
申请号	CN200780042080.5	申请日期	2007-11-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-11-18	公开/公告号	CN101583860
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件	IPC分类号	G;0;1;M;1;1;/;0;0;;;G;0;1;R;1;/;0;7;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	日本电子材料株式会社	申请人地址	日本兵库县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本电子材料株式会社	当前权利人	日本电子材料株式会社
发明人	大泽茂巳;小室一真
代理机构	北京汇泽知识产权代理有限公司	代理人	黄挺

摘要

本发明旨在提供比以往装置更可自由设定多个采集、且对光学传感器相对微透镜发生偏移的光学设备，仍可正确进行检查的光学设备检查用装置。本发明配备有探卡单元和透镜单元的光学设备检查装置，所述探卡单元配备有主基板、导向板和探头，所述主基板和所述导向板上设置有开口部，所述导向板被固定于所述主基板的特定位置，并设置有数个探头插入孔，所述探头插入所述导向板的探头插入孔中并被固定，从所述插入孔突出的顶端部采取悬臂型；所述透镜单元是使用瞳孔透镜的透镜单元，被设置于所述主基板上的开口部，随着从光学系统的中心远离而使照向被检对象的光倾斜。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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