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一种横向高压功率器件的结终端结构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510543015.7
  • IPC分类号:H01L29/06
  • 申请日期:
    2015-08-28
  • 申请人:
    电子科技大学
著录项信息
专利名称一种横向高压功率器件的结终端结构
申请号CN201510543015.7申请日期2015-08-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-12-30公开/公告号CN105206659A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L29/06IPC分类号H;0;1;L;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人电子科技大学申请人地址
四川省成都市高新区(西区)西源大道2006号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人电子科技大学当前权利人电子科技大学
发明人乔明;代刚;张晓菲;王裕如;方冬;张波
代理机构成都点睛专利代理事务所(普通合伙)代理人葛启函
摘要
本发明属于半导体技术领域,具体的说涉及一种横向高压功率器件的结终端结构。本发明的结构,曲率结终端结构中N型漂移区2内壁和P型埋层9内壁分别向中间延伸至与直接结终端结构中N型漂移区2内壁和P型埋层9内壁连接,延伸路径为圆弧路径;这样可以有效缓解连接处电场的曲率效应。在连接处延伸方向的垂直方向,P型埋层9超出N型漂移区2一些距离,改善电荷不平衡问题。本发明的有益效果为,改善直线结终端结构与曲率结终端结构相连部分电荷不平衡与连接处电场曲率效应的问题,避免器件提前击穿,从而得到最优化的击穿电压。

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