基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器

发明专利无效专利

申请号：
CN200810201242.1
IPC分类号：G01N27/12
申请日期：
2008-10-16
申请人：
上海交通大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器
申请号	CN200810201242.1	申请日期	2008-10-16
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2009-03-18	公开/公告号	CN101387614
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/04 通过测试电阻 G01N27/12 与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;1;2查看分类表>
申请人	上海交通大学	申请人地址	上海市闵行区东川路800号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海交通大学	当前权利人	上海交通大学
发明人	李以贵;高阳;张俊峰
代理机构	上海交达专利事务所	代理人	王锡麟;王桂忠

摘要

本发明涉及一种微电子技术领域的基于导电聚合物－碳黑颗粒的气敏微传感器，从底层到顶层分别为硅衬底、二氧化硅层、氮化硅膜、钛层、加热电阻丝与梳状叉指电极、聚合物－碳黑混合物敏感膜，其中每一层直接覆盖在下一层的上面，所述硅衬底、二氧化硅层、氮化硅膜、钛层自下而上构成传感器的支撑结构。加热电阻丝可以大大提高气体解吸附的速度，从而有效地克服检测一次气体周期长的缺点，可以显著提高气敏微传感器的工作效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN102359980A	2011-07-08	2011-07-08	一种具有两支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器及方法无效专利	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
2	CN101832961B	2010-05-04	2010-05-04	一种快速响应的电阻式气体传感器及其制备方法有效专利	电子科技大学
3	CN103247363B	2012-11-05	2012-11-05	一种超低电阻导电膜及其制备方法有效专利	杨立双
4	CN101832961A	2010-05-04	2010-05-04	一种快速响应的电阻式气体传感器及其制备方法有效专利	电子科技大学
5	CN103247363A	2012-11-05	2012-11-05	一种超低电阻导电膜及其制备方法有效专利	杨立双
6	CN102288644A	2011-07-08	2011-07-08	一种具有四支撑悬梁四层结构的电阻式气体传感器及方法无效专利	中国科学院上海微系统与信息技术研究所
7	CN106370703A	2016-11-24	2016-11-24	镍铝层状氢氧化物-碳黑复合材料的制备方法及应用无效专利	黑龙江大学
8	CN102928487A	2012-10-19	2012-10-19	平板式工作电极及其制作方法无效专利	中国检验检疫科学研究院;南通通大化学物安全性评价中心有限公司;南通大学

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供