在有机硅酸盐玻璃中腐蚀双金属镶嵌结构的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN01814890.5
IPC分类号：--
申请日期：
2001-06-08
申请人：
兰姆研究有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	在有机硅酸盐玻璃中腐蚀双金属镶嵌结构的方法
申请号	CN01814890.5	申请日期	2001-06-08
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2003-10-15	公开/公告号	CN1449578
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	兰姆研究有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	兰姆研究有限公司	当前权利人	兰姆研究有限公司
发明人	J·M·弗兰纳;I·莫里
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	肖春京

摘要

用于在晶片中形成双金属镶嵌腐蚀结构的方法，和根据该方法形成的半导体器件。本发明利用两步腐蚀工艺来形成有机硅酸盐电介质层中的双金属镶嵌结构。根据本发明的一个实施例，利用第一低选择性腐蚀剂来进行第一腐蚀步骤，第一低选择性腐蚀剂腐蚀完全通过沟槽电介质(8)并几乎完全通过通孔电介质(12)，余下阻挡层上通孔电介质的小量残余，阻挡层保护由阻挡层(14)所保护的金属化物体。第一腐蚀步骤之后，利用第二高选择性腐蚀剂来执行第二腐蚀步骤。进行第二腐蚀步骤而对阻挡层几乎没有破坏。本发明的可选实施例考虑了“沟槽在先”腐蚀策略。

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