对于平板表面形貌的干涉测量装置

实用新型无效专利

申请号：
CN02260949.0
IPC分类号：--
申请日期：
2002-10-24
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	对于平板表面形貌的干涉测量装置
申请号	CN02260949.0	申请日期	2002-10-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院上海光学精密机械研究所	申请人地址	上海市嘉定区嘉定镇清河路3*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所	当前权利人	中国科学院上海光学精密机械研究所
发明人	钱锋;王向朝;王学锋
代理机构	上海开祺专利代理有限公司	代理人	李兰英

摘要

一种对于平板表面形貌的干涉测量装置，包括产生干涉光束的物光和参考光。物光是由激光光源发射的激光束经第三透镜和第二透镜的平行光束射到待测透明平板上后反射回来的光束经第二透镜和第一分束器的反射，透过第四透镜、第二分束器、第三分束器、第五透镜至光折变晶体，由光折变晶体返回再经第五透镜至第三分束器。参考光是由第二分束器反射的光束经第一反射镜、第七透镜、第六透镜和第二反射镜至第三分束器与物光相遇产生干涉。与在先技术相比，本实用新型在物光的光路上置有光折变晶体产生共轭光，使得测量灵敏度提高了一倍。

一种建立情感识别模型和识别人物情感的方法和装置

发明授权

对于平板表面形貌的干涉测量装置

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