信息处理装置、程序、工艺处理执行装置及信息处理系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201980011654.5
IPC分类号：G16Z99/00;G06Q10/04
申请日期：
2019-01-28
申请人：
东京毅力科创株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	信息处理装置、程序、工艺处理执行装置及信息处理系统
申请号	CN201980011654.5	申请日期	2019-01-28
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-09-18	公开/公告号	CN111684541A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G16Z99/00	IPC分类号	G;1;6;Z;9;9;/;0;0;;;G;0;6;Q;1;0;/;0;4查看分类表>
申请人	东京毅力科创株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京毅力科创株式会社	当前权利人	东京毅力科创株式会社
发明人	茂木弘典;加藤隆彦
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	吕琳;朴秀玉

摘要

一种信息处理装置，包括：记录单元，记录用于对被处理体的变化进行再现的模型数据，模型数据是根据被处理体的开始状态数据与在预定处理条件下对被处理体执行工艺处理后的被处理体的结束状态数据之间的差分数据，作为工艺处理的效果构建而成；输入接受单元，接受被处理体的开始状态数据及作为目标的被处理体的结束状态数据的输入；预测单元，使用记录在记录单元中的模型数据及多个模型数据的组合，对输入接受单元接受的被处理体的开始状态数据的被处理体的结束状态数据进行预测；以及确定单元，基于预测的被处理体的结束状态数据与接受的作为目标的被处理体的结束状态数据之间的接近度，确定对被处理体执行的工艺处理的预定处理条件。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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