一种应用于单晶炉的冷却装置及包含其的单晶炉

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201520343186.0
IPC分类号：C30B29/06;C30B15/00
申请日期：
2015-05-26
申请人：
河北宁通电子材料有限公司

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著录项信息

专利名称	一种应用于单晶炉的冷却装置及包含其的单晶炉
申请号	CN201520343186.0	申请日期	2015-05-26
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	河北宁通电子材料有限公司	申请人地址	河北省邢台市宁晋县大曹庄管理区产业聚集区西区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河北宁通电子材料有限公司	当前权利人	河北宁通电子材料有限公司
发明人	边志坚;李德建;张晓朋;李朝阳
代理机构	石家庄新世纪专利商标事务所有限公司	代理人	刘磊娜

摘要

本实用新型涉及一种应用于单晶炉的冷却装置及包含其的单晶炉，冷却装置包括水冷套、冷水机和水箱，所述水冷套内设置有环形闭路循环管路，所述水冷套上沿设置有法兰，所述法兰上设置有进水口和进水口，所述进水口和所述进水口分别与所述环形闭路循环管路的进水端和出水端相连，所述冷水机通过进水管道与所述进水口相连，所述出水口通过出水管道与所述水箱相连，所述水箱与所述冷水机之间通过连接管道相连，所述连接管道上设置有水泵和阀门。本实用新型可以加快硅液的结晶速度，从而提高晶体生长速度，提高等径拉速，缩短等径周期，提高生产效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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