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具有多面加热器配置的相变开关

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110372622.7
  • IPC分类号:H01L45/00
  • 申请日期:
    2021-04-07
  • 申请人:
    英飞凌科技股份有限公司
著录项信息
专利名称具有多面加热器配置的相变开关
申请号CN202110372622.7申请日期2021-04-07
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-10-19公开/公告号CN113517394A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L45/00IPC分类号H;0;1;L;4;5;/;0;0查看分类表>
申请人英飞凌科技股份有限公司申请人地址
德国诺伊比贝尔格 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人英飞凌科技股份有限公司当前权利人英飞凌科技股份有限公司
发明人D·海斯;M·巴特尔斯;C·格拉策;C·卡陶;M·马科特;H·塔迪肯;H-D·霍尔穆斯
代理机构北京市金杜律师事务所代理人黄倩
摘要
本公开的各实施例涉及具有多面加热器配置的相变开关。开关器件包括:被设置在衬底之上的第一RF端子和第二RF端子;连接在第一RF端子和第二RF端子之间的一个或多个相变材料带;将一个或多个相变材料带与衬底分开的绝热材料区域;以及包括一个或多个加热元件的加热器结构,加热元件被配置成通过向一个或多个相变材料带施加热量来控制第一RF端子和第二RF端子之间的导电连接。一个或多个相变材料带中的每个相变材料带包括第一外面和与第一外面相对的第二外面。对于一个或多个相变材料带中的每个相变材料带,第一外面和第二外面两者的至少部分被设置成抵靠加热元件中的一个加热元件。

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