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包括多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200410071242.6
  • IPC分类号:H01L21/84;G02F1/136
  • 申请日期:
    2004-07-16
  • 申请人:
    三星SDI株式会社
著录项信息
专利名称包括多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置及其制造方法
申请号CN200410071242.6申请日期2004-07-16
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2005-02-09公开/公告号CN1577418
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/84
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;4;;;G;0;2;F;1;/;1;3;6查看分类表>
申请人三星SDI株式会社申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星SDI株式会社,三星显示有限公司当前权利人三星SDI株式会社,三星显示有限公司
发明人朴志容;具在本;朴惠香;李基龙;李乙浩
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人李晓舒;魏晓刚
摘要
本发明涉及一种包括多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置及其制造方法。形成于这种平板显示装置的驱动电路部分和象素部分的薄膜晶体管的有源沟道区域中的多晶硅晶粒的晶粒大小彼此不相同。而且,这种平板显示装置包括彼此具有不同晶粒形状的P型和N型薄膜晶体管。对于诸如电流迁移率这样的电特性,在驱动电路部分中要好于在所述象素部分中。而且,由于晶粒大小在象素部分中比在驱动电路部分中更为均匀,所以在象素部分中具有更好的电流一致性。

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