一种溅射靶材焊接工装

1.一种溅射靶材焊接工装，其特征在于，包括：
工装台；
开设于所述工装台顶部一侧的凹槽，所述凹槽内中部设置有转盘；
设于所述工装台顶部靠近所述凹槽一侧、用于对靶材进行焊接的防护组件；以及设于所述工装台内部用于清除焊接碎屑的清理组件。
2.根据权利要求1所述的溅射靶材焊接工装，其特征在于，所述工装台外端一侧固定安装有控制器，所述防护组件包括：
设于所述转盘顶部的工装架；
设于所述工装台顶部靠近凹槽一侧的固定块；
设于所述固定块顶部的挡屑板；
多个开设于所述挡屑板外侧的焊接槽。
3.根据权利要求2所述的溅射靶材焊接工装，其特征在于，所述工装架靠近底端的位置处设置有限位块，所述限位块内部设置有压簧，所述压簧一端连接有弧形块，且所述压簧和弧形块呈环形有序排列。
4.根据权利要求2所述的溅射靶材焊接工装，其特征在于，所述转盘内中部设置有轴承，所述工装架底端中部设置有转杆，且所述工装架通过转杆与轴承转动连接。
5.根据权利要求2所述的溅射靶材焊接工装，其特征在于，所述工装架顶端均设置有支杆，所述支杆顶部连接有固定盘。
6.根据权利要求1所述的溅射靶材焊接工装，其特征在于，所述凹槽靠近顶端的位置处开设有若干个排屑孔，若干个所述排屑孔底部设置有排料管，且所述排料管贯穿于工装台内部。
7.根据权利要求1所述的溅射靶材焊接工装，其特征在于，所述清理组件包括设备箱、伸缩缸、伸缩杆、清理板和耐磨层，所述工装台背面中部贯通设置有设备箱，所述设备箱内部固定安装有伸缩缸，且所述伸缩缸与控制器电性连接，所述伸缩缸一端驱动连接有伸缩杆，所述伸缩杆一端连接有清理板，且所述清理板与工装台内部底端紧密贴合，所述清理板外表面设置有耐磨层，且所述耐磨层采用合金钢涂料涂刷而成。

一种溅射靶材焊接工装\n技术领域\n[0001] 本实用新型涉及溅射靶材加工技术领域，具体是一种溅射靶材焊接工装。\n背景技术\n[0002] 溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过\n加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固定表面院子发生动能交\n换，使固体表面的院子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜\n的原材料，称为溅射靶材，各种类型的溅射薄膜材料无论在半导体集成电路、太阳能光伏、\n记录介质、平面显示以及工件表面涂层等方面都得到了广泛的应用。\n[0003] 现有溅射靶材焊接工装过程中，由于靶材大多数都是裸露在外部的，在焊接靶材\n时会有大量的碎屑向外飞溅，而碎屑带有一定的热量温度，导致碎屑飞溅容易造成弄伤工\n作人员的眼睛，使得溅射靶材焊接工装的防护性较差，同时，现有靶材焊接工装产生的碎屑\n不便于收集清理，在将靶材完成焊接工装后需要人工处理，使得增加工作强度，效率较低。\n实用新型内容\n[0004] 本实用新型旨在于解决背景技术中存在的缺点，提供一种溅射靶材焊接工装，通\n过设置防护组件，在焊接过程中，挡屑板能够阻挡焊接的碎屑飞溅到工作人员的眼睛里，达\n到靶材焊接具有良好的保护效果，避免碎屑飞溅弄伤工作人员的眼睛，同时，设置清理组\n件，达到便于收集清理的目的，进而减少工作人员的清理工作量，而通过耐磨层能够提升清\n理板的耐磨性，延长清理板的使用寿命。\n[0005] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案，一种溅射靶材焊接工装，包括：\n[0006] 工装台；\n[0007] 开设于所述工装台顶部一侧的凹槽，所述凹槽内中部设置有转盘；\n[0008] 设于所述工装台顶部靠近所述凹槽一侧、用于对靶材进行焊接的防护组件；以及\n[0009] 设于所述工装台内部用于清除焊接碎屑的清理组件。\n[0010] 进一步的，所述工装台外端一侧固定安装有控制器，所述防护组件包括：\n[0011] 设于所述转盘顶部的工装架；\n[0012] 设于所述工装台顶部靠近凹槽一侧的固定块；\n[0013] 设于所述固定块顶部的挡屑板；\n[0014] 多个开设于所述挡屑板外侧的焊接槽。\n[0015] 进一步的，所述工装架靠近底端的位置处设置有限位块，所述限位块内部设置有\n压簧，所述压簧一端连接有弧形块，且所述压簧和弧形块呈环形有序排列。\n[0016] 进一步的，所述转盘内中部设置有轴承，所述工装架底端中部设置有转杆，且所述\n工装架通过转杆与轴承转动连接。\n[0017] 进一步的，所述工装架顶端均设置有支杆，所述支杆顶部连接有固定盘。\n[0018] 进一步的，所述凹槽靠近顶端的位置处开设有若干个排屑孔，若干个所述排屑孔\n底部设置有排料管，且所述排料管贯穿于工装台内部。\n[0019] 进一步的，所述清理组件包括设备箱、伸缩缸、伸缩杆、清理板和耐磨层，所述工装\n台背面中部贯通设置有设备箱，所述设备箱内部固定安装有伸缩缸，且所述伸缩缸与控制\n器电性连接，所述伸缩缸一端驱动连接有伸缩杆，所述伸缩杆一端连接有清理板，且所述清\n理板与工装台内部底端紧密贴合，所述清理板外表面设置有耐磨层，且所述耐磨层采用合\n金钢涂料涂刷而成。\n[0020] 本实用新型提供了一种溅射靶材焊接工装，具有以下有益效果：\n[0021] 本实用优点在于，通过设置防护组件，在焊接过程中，挡屑板能够阻挡焊接的碎屑\n飞溅到工作人员的眼睛里，达到靶材焊接具有良好的保护效果，避免碎屑飞溅弄伤工作人\n员的眼睛。\n[0022] 其次，设置清理组件，达到便于收集清理的目的，进而减少工作人员的清理工作\n量，而通过耐磨层能够提升清理板的耐磨性，延长清理板的使用寿命。\n附图说明\n[0023] 图1为本实用新型的整体结构示意图。\n[0024] 图2为本实用新型的工装台剖面示意图。\n[0025] 图3为本实用新型的工装架结构示意图。\n[0026] 图4为本实用新型的限位块剖面示意图。\n[0027] 图5为本实用新型的工装台背面示意图。\n[0028] 图6为本实用新型的清理板结构示意图。\n[0029] 图1‑6中：1、工装台；101、凹槽；102、转盘；103、工装架；104、固定块；105、挡屑板；\n106、焊接槽；107、限位块；108、压簧；109、弧形块；110、轴承；111、转杆；112、支杆；113、固定盘；114、排屑孔；115、排料管；2、控制器；3、设备箱；301伸缩缸；302、伸缩杆；303、清理板；\n304、耐磨层。\n具体实施方式\n[0030] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行\n清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的\n实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下\n所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。\n[0031] 在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于\n描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特\n定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于\n描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。\n由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在\n本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。\n[0032] 在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相\n连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可\n以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间\n接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术\n人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。\n[0033] 在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”\n可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它\n们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特\n征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在\n第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示\n第一特征水平高度小于第二特征。\n[0034] 下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了\n简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并\n且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，\n这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的\n关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以\n意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。\n[0035] 本申请实施例提供一种溅射靶材焊接工装，该溅射靶材焊接工装可以实现当靶材\n焊接过程中，通过设置防护组件，在焊接过程中，挡屑板能够阻挡焊接的碎屑飞溅到工作人\n员的眼睛里，达到靶材焊接具有良好的保护效果，避免碎屑飞溅弄伤工作人员的眼睛，同\n时，设置清理组件，达到便于收集清理的目的，进而减少工作人员的清理工作量，而通过耐\n磨层能够提升清理板的耐磨性，延长清理板的使用寿命。以下对该溅射靶材焊接工装进行\n详细说明。需说明的是，以下实施例的描述顺序不作为对实施例优选顺序的限定。\n[0036] 下面结合附图和具体实施方式对本申请予以详细描述。\n[0037] 实施例：\n[0038] 请参阅图1‑6中，本实施例提供的一种溅射靶材焊接工装，包括：工装台 1，开设于\n工装台1顶部一侧的凹槽101，凹槽101内中部设置有转盘102，设于工装台1顶部靠近凹槽\n101一侧、用于对靶材进行焊接的防护组件，以及设于工装台1内部用于清除焊接碎屑的清\n理组件。\n[0039] 在本实施例中，工装台1外端一侧固定安装有控制器2，防护组件包括：设于转盘\n102顶部的工装架103，设于工装台1顶部靠近凹槽101一侧的固定块104，设于固定块104顶\n部的挡屑板105，多个开设于挡屑板105外侧的焊接槽106，通过工装架103、固定块104、挡屑\n板105和焊接槽106的设置，将靶材依次放在工装架103内部层叠对接放置，其工装架103对\n靶材限位卡紧，使得从挡屑板105内的焊接槽106对靶材的连接处进行焊接工装，在焊接过\n程中，挡屑板105能够阻挡焊接的碎屑飞溅到工作人员的眼睛里，达到靶材焊接具有良好的\n保护效果，避免碎屑飞溅弄伤工作人员的眼睛。\n[0040] 在本实施例中，工装架103靠近底端的位置处设置有限位块107，限位块 107内部\n设置有压簧108，压簧108一端连接有弧形块109，且压簧108和弧形块109呈环形有序排列，\n通过限位块107、压簧108和弧形块109的设置，使其靶材放在限位块107内时，弧形块109会\n将压簧108压紧，防止靶材在工装架103上松动，在靶材层叠后，进而增加底部靶材的稳定\n性，避免受到焊接作用力后产生晃动。\n[0041] 在本实施例中，转盘102内中部设置有轴承110，工装架103底端中部设置有转杆\n111，且工装架103通过转杆111与轴承110转动连接，通过轴承110 和转杆111的设置，对靶\n材焊接过程中，转动工装架103能够改变靶材的焊接位置，则不需要工作人员绕着工装架\n103走动进行焊接工作。\n[0042] 在本实施例中，工装架103顶端均设置有支杆112，支杆112顶部连接有固定盘113，\n通过支杆112和固定盘113的设置，在靶材放入工装架103内部后，将固定盘113卡入支杆112\n处与工装架103形成一个整体，使得固定盘113 对层叠后的靶材进行卡紧，进而增加靶材的\n稳固性，而靶材焊接完后，将固定盘113从支杆112处取下即可，便于将焊接完的靶材拿出。\n[0043] 在本实施例中，凹槽101靠近顶端的位置处开设有若干个排屑孔114，若干个排屑\n孔114底部设置有排料管115，且排料管115贯穿于工装台1内部，通过凹槽101、排屑孔114和\n排料管115的设置，在工装架103上焊接靶材的碎屑会掉落在凹槽101内，使其碎屑会从排屑\n孔114掉进到排料管115，经排料管115排入到工装台1内部收集，避免造成工作区域被弄脏。\n[0044] 在本实施例中，清理组件包括设备箱3、伸缩缸301、伸缩杆302、清理板 303和耐磨\n层304，工装台1背面中部贯通设置有设备箱3，设备箱3内部固定安装有伸缩缸301，且伸缩\n缸301与控制器2电性连接，伸缩缸301一端驱动连接有伸缩杆302，伸缩杆302一端连接有清\n理板303，且清理板303与工装台 1内部底端紧密贴合，清理板303外表面设置有耐磨层304，\n且耐磨层304采用合金钢涂料涂刷而成，通过伸缩缸301、伸缩杆302、清理板303和耐磨层\n304 的设置，当工装台1内部收集一定量的碎屑后，通过控制器2开启伸缩缸301 驱动伸缩\n杆302，让伸缩杆302推动清理板303将工装台1内部的碎屑向外推出清理，达到便于收集清\n理的目的，进而减少工作人员的清理工作量，而通过耐磨层304能够提升清理板303的耐磨\n性，延长清理板303的使用寿命。\n[0045] 在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部\n分，可以参见其他实施例的相关描述。\n[0046] 以上对本申请实施例所提供的一种溅射靶材焊接工装进行了详细介绍，本文中应\n用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理\n解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述\n各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修\n改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

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