液体释放器的孔板的制造方法及其孔板

发明专利无效专利

申请号：
CN98115676.2
IPC分类号：--
申请日期：
1998-07-03
申请人：
佳能株式会社

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法律信息

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著录项信息

专利名称	液体释放器的孔板的制造方法及其孔板
申请号	CN98115676.2	申请日期	1998-07-03
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1999-01-13	公开/公告号	CN1204578
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	小山修司;益田和明;池龟健;樫野俊雄;石永博之;三原弘明
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	杜日新

摘要

一种用于液体释放器的孔板的制造方法，该液体释放器配有排出液体的排出口，该方法包括步骤，制备非传导板，该板有在对应于所述排出口的平坦部分周边上形成的凹槽部分；仅在所述非传导板的凹槽部分中，形成可与所述非传导板剥离的第一传导材料；其后，通过电铸方法用第二传导材料镀敷所述第一传导材料形成镀敷部件；剥离所述镀敷部件获得带有所述排出口的孔板。利用这样方法，能够实现与用于光刻的玻璃掩模同样的精度，并使孔区域的变化更小，以形成高密度的孔。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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