激光脉冲检测用光电发射薄膜

发明专利无效专利

申请号：
CN92112947.5
IPC分类号：--
申请日期：
1992-11-13
申请人：
中国科学院北京真空物理实验室;北京大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	激光脉冲检测用光电发射薄膜
申请号	CN92112947.5	申请日期	1992-11-13
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1994-05-18	公开/公告号	CN1086927
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院北京真空物理实验室;北京大学	申请人地址	北京市海淀区中关村2724信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院北京真空物理实验室,北京大学	当前权利人	中国科学院北京真空物理实验室,北京大学
发明人	吴全德;刘惟敏;董引吾;吴锦雷;石自光;薛增泉
代理机构	中科专利代理有限责任公司	代理人	关玲

摘要

本发明公开了一种光电发射薄膜的制备方法与应用，属于半导体器件领域。此种薄膜含有银、钡、氧三种元素，用真空系统中通电加热蒸发钡源和银源，使其沉积并激活的方法制备。此种薄膜可存放于大气能在真空仪器中恢复光电发射而无需重新激活，并可以在较高温度环境下工作，具有较高灵敏度。它可以作为光电发射薄膜材料，用于皮秒级激光脉冲检测及高亮度阴极，还可用于变相管等。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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