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基板处理装置、元件制造系统及元件制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201680006570.9
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2016-02-26
  • 申请人:
    株式会社尼康
著录项信息
专利名称基板处理装置、元件制造系统及元件制造方法
申请号CN201680006570.9申请日期2016-02-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-09-26公开/公告号CN107209461A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人株式会社尼康申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社尼康当前权利人株式会社尼康
发明人铃木智也;奈良圭;加藤正纪;渡辺智行;鬼头义昭;堀正和;林田洋祐;小宫山弘树
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人郭晓宇;汤在彦
摘要
一种基板处理装置,具备:旋转圆筒DR,以既定速度往与基板P宽度方向交叉的搬送方向搬送;描绘装置11,具有多个描绘模块UW1~UW5,将投射于基板P的描绘光束沿着基板P的描绘线扫描以将既定图案描绘于基板P上,以通过多个描绘模块UW1~UW5的各个而描绘于基板P上的图案彼此在宽度方向相接合的方式,将彼此在宽度方向相邻的描绘线于搬送方向配置成相隔既定间隔;调整机构24,调整描绘线相对于基板P宽度方向的倾斜;以及旋转位置检测机构,检测出基板P的搬送速度;根据以旋转位置检测机构检测出的搬送速度,通过旋转机构24调整描绘线的相对倾斜。

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