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半导体基板、半导体基板的制造方法以及电子器件

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200880119998.X
  • IPC分类号:H01L21/20;H01L21/331;H01L29/737
  • 申请日期:
    2008-12-26
  • 申请人:
    住友化学株式会社;国立大学法人东京大学
著录项信息
专利名称半导体基板、半导体基板的制造方法以及电子器件
申请号CN200880119998.X申请日期2008-12-26
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日2010-11-24公开/公告号CN101897000A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/20IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;1;;;H;0;1;L;2;9;/;7;3;7查看分类表>
申请人住友化学株式会社;国立大学法人东京大学申请人地址
日本国东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人住友化学株式会社,国立大学法人东京大学当前权利人住友化学株式会社,国立大学法人东京大学
发明人高田朋幸;山中贞则;秦雅彦;山本武继;和田一实
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人朱丹
摘要
本发明使用廉价而且散热性优良的Si基板,获得质量良好的GaAs系的结晶薄膜。本发明提供具有Si基板;在基板上结晶生长,且形成为孤立的岛状的Ge层;以及在Ge层上结晶生长的功能层的半导体基板。所述Ge层形成为岛状,所述岛状的大小不超过进行退火时在所述退火的温度及时间内结晶缺陷所移动的距离的2倍。所述Ge层形成为岛状,所述岛状的大小满足进行退火时在所述退火的温度下所述Ge层与所述Si基板之间的热膨胀系数的差异所产生的应力不会导致剥离发生的条件。

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